N2/H2/O2/AR/He/NH3/CO2/클린 드라이 에어/사용 시점 7N-9N 정제 공장
최고 품질 10-20000Nm3/H 휘발성 베이스 제거 청결 공기 정화 장치
깨끗한 건식 공기 정화 시스템
청정기는 공정 파이프라인과 전자 제어 시스템으로 구성되어 있습니다. PLC는 공정 밸브의 작동을 제어하여 안전하고 안정적이며 지속적인 작동을 보장합니다.
이중 타워의 대체 흡착, 지속적인 가스 공급
Adsorbents는 온라인에서 반복적으로 재생할 수 있습니다
316L SS EP 정제 용기
PLC 제어 계통, 완전 자동 작동
안전성이 강화된 알람 연동 기능이 탑재되어 있습니다
제품 모델 |
WP10-A |
퓨어성 가스 |
CDA |
정제 공정 |
흡착 |
가스 소스 |
출구 |
불순물 |
ppb/ppt |
H2O |
0.1ppb 미만 |
휘발성 산(VA) |
10ppt 미만 |
휘발성 베이스(VB) |
10ppt 미만 |
불응성 화합물(RC) |
10ppt 미만 |
토탈 유기농 탄소(TOC) |
10ppt 미만 |
입자 |
≤ 1pcs/m3
> 0.003μm |
표준 유속 |
10-20000Nm3/h |
WP10-A 시리즈 CDA 정수기는 흡착 공정을 사용합니다. 이 가스는 실온의 흡착 절차를 통과하며 H2O, 휘발성 산(VA), 휘발성 염기(VB), 불응성 화합물(RC), 총 유기 탄소(TOC) 등의 불순물을 완전히 제거합니다.

대규모 집적 회로 제조 |
반도체 이산 장치 제조 |
대형 실리콘 웨이퍼 생산 |
패널 및 디스플레이 제조 |
광 Fibre 사전 형성 운영 |
고효율 태양전지 생산 |
LED 및 레이저 다이오드 제조 |
초고순도 가스, 혼합 가스 및 표준 가스 생산 |

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