커스터마이징: | 사용 가능 |
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판매 후 서비스: | 기술 지원 |
보증: | 1년 |
비즈니스 라이센스가 검증 된 공급 업체
독립적인 제3자 검사 기관의 감사를 받음
SIMVACO의 ITO 유리 마그네론 스퍼터링 코팅 라인은 Indium Tin Oxide(ITO) 코팅 유리, Low-E 에너지 절약형 유리, 터치 스크린 패널 유리, 태양광 솔라 글라스를 포함한 기능성 유리 기판의 정밀 코팅에 적합하게 설계된 최첨단 진공 증착 시스템입니다. 이 수평 인라인 스퍼터링 시스템은 높은 처리량의 균일한 대면적 코팅을 보장하므로 건축 및 전자 응용 분야에 이상적입니다.
Indium Tin Oxide(ITO)는 터치스크린, LCD 디스플레이 및 광전자 장치에 널리 사용되는 투명 전도성 산화물입니다.
SIMVACO의 코팅 라인을 통해 저항률 및 탁월한 투과율을 통해 초박형 ITO 막의 정확한 증착이 가능합니다.
이 시스템은 고성능 전자 유리를 위해 단일 계층 및 다중 계층 TCO 구조를 모두 지원합니다.
저복사율(Low-E) 유리는 가시광선 투과를 허용하는 동시에 적외선을 반사하여 에너지 효율을 개선합니다.
SIMVACO의 마그네트론 스퍼터링 시스템은 내구성을 위해 산화 방지 인터레이어와 함께 은을 사용한 Low-E 필름의 증착을 가능하게 합니다.
커튼 벽, 스마트 윈도우, 녹색 건물에 널리 사용됩니다.
이 시스템은 반반사, TCO 및 PV 유리의 후면 반사 층 증착을 지원합니다.
BIPV, 박막 태양광 모듈 및 차세대 태양 전지의 경우 적용 가능합니다.
피처 | 설명 |
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구조 | 여러 개의 스퍼터링 챔버가 있는 수평 인라인 아키텍처 |
증착 기술 | 마그네트론 퍼터링(DC/MF/RF 사용자 지정 가능) |
유리 크기 지원 | 최대 폭 2,400mm(사용자 지정 가능) |
레이어 균일성 | 전체 표면에 대해 ± 3% 두께 균일성 |
공정 가스 | AR, O2, N2; 옵션 반응 스퍼터링 구성 |
제어 시스템 | PLC + HMI 인터페이스와 레시피 저장, 실시간 모니터링 |
옵션 추가 기능 | 사전 세척, 가열 구역, 적외선 소둔 열처리, 이온 소스 |
정밀한 필름 제어 - 목표 저항률 달성 (10-3 ~ 10-4 Ω·cm) 및 가시 광선 전송(> 85%)
모듈식 라인 설계 - 서로 다른 유연한 챔버 구성 코팅 스택
견고한 산업 설계 - 의 검증된 안정성을 바탕으로 연중무휴 24시간 작동 고출력 환경
글로벌 서비스 - 현장 지원을 통해 동남 아시아, 중동 및 동유럽 전역에 설치됩니다
턴키 솔루션 - 장비 설계부터 공정 조정 및 작업자 교육
이토(산화질소산화인디)
SiO2, TiO2, SnO2(반사를 위한 전기 장치)
AG, NiCr, Al(저층 또는 다층 구조의 경우)
azo, ZnO:Al (PV Glass의 비용 효율적인 대안)
산업 | 응용 프로그램 예 |
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전자 제품 | 정전식 터치 패널, LCD 디스플레이, OLED 스크린 |
아키텍처 | 저온형 건물 유리, 이중 방음형 에너지 절약형 객실 |
태양광(PV | BIPV 유리, 박막 태양광 모듈, 페로브스키 패널 |
스마트 장치 | 웨어러블, 자동차 터치 스크린, 투명한 전자 제품 |
SIMVACO는 맞춤형 PVD 코팅 시스템 개발에 10년 이상 경험이 있는 전문 진공 코팅 장비 제조업체입니다. 에어 프로덕츠의 공장은 전 세계 산업 고객에게 확장 가능하고 에너지 효율적인 고성능 솔루션을 제공합니다.